Optische Messtechnik im neuen Licht

Optische 3D-Messsysteme zur nanometergenauen Oberflächenanalyse von Confovis

Confovis versteht sich als Systemanbieter für optische 3D-Messsysteme für den industriellen Einsatz. Seit 2009 am Markt, setzt das Unternehmen auf kundennahe und anwendungsorientierte Lösungen. Mit seiner patentierten konfokalen Technologie der „Structured Illumination Microscopy“ ergeben sich neue Möglichkeiten zur schnellen und nanometergenauen Oberflächenanalyse für industrielle Anwendungen. Mit der neuesten Gerätegeneration kombiniert Confovis die Konfokal-Messtechnik und die Fokusvariation in einem System. Damit bietet der Messtechnik-Spezialist Industriekunden aus den Bereichen Automotive & Aerospace, Werkzeug- und Maschinenbau, Metallurgie-, Halbleiter-, und optische Industrie eine zeit- und kostensparende Lösung für unterschiedlichste Messaufgaben, wie Mikrokonturmessungen und auf zertifizierte Normale rückführbare Rauheitsmessungen entsprechend den gültigen Normen.

Olympus Parnerschaft

2018 wurde nach zwei Jahren der Belieferung mit Objektiven eine Partnerschaft mit Olympus geschlossen, um Kunden zukünftig insbesondere bei Infrarot Messaufgaben auf Basis der IR-tauglichen Olympus-Mikroskope Komplettlösungen für den Halbleiter-Bereich anbieten zu können.

NIKON Partnerschaft

Bereits 2010 wurden die ersten Geräte an Industriekunden und Forschungseinrichtungen verkauft. Dabei kristallisierte sich der Bedarf nach Komplettlösungen für die Halbleiter-Industrie heraus. Deshalb wurde 2011 eine Partnerschaft mit NIKON ins Leben gerufen, um auf Basis der NIKON Lichtmikroskope für Wafer Inspektion durch Verwendung der ConfoCam® ein 2D und 3D messendes System zu schaffen.

Erweiterung des Produktportfolios

Neben Standardsystemen auf Basis von Mikroskop-Komponenten wurde 2016 das Messsystem Duo Vario entwickelt, welches das patentierte konfokale Messverfahren mit der Fokusvariation verbindet und ein wesentlich größeres Bildfeld besitzt. Auf Basis dieses Systems wurden verschiedene Gerätetypen als Granitaufbauten entwickelt, um auch große und schwere Bauteile vermessen zu können. Außerdem sind weitere Achsantriebe und Handling-Einrichtungen zur Positionierung des Prüflings entwickelt worden, um den industriellen Anforderungen gerecht zu werden.

Etablierung von Branchenlösungen für die Industrie

Ab 2015 hat das Unternehmen sein Wirken noch stärker auf die einzelnen Branchen ausgerichtet und dort Messsysteme speziell für die Bedürfnisse der Zielbranchen umgesetzt. Mit der Kombination aus konfokaler Messung und Fokusvariation konnten Kunden beispielsweise aus dem Werkzeug- und Maschinenbau bzw. der Automotive-Industrie gewonnen werden. Die Rückführbarkeit der Messergebnisse auf herstellerunabhängige Normale mit praxisnahen gedrehten und geschliffenen Strukturen, wie z.B. Raunormale der Firma HALLE stand dabei im Vordergrund.

Zweites Messverfahren umgesetzt

Mit zwei Scan-Modulen im Portfolio sind die Messsysteme ab Ende 2015 noch flexibler. Als Neuzugang steht das FocusCam® Scan-Modul vor allem für Form- und Konturmessungen von Mikrostrukturen mit hohen Flankenwinkeln zur Verfügung. Es misst ausschließlich mit Fokusvariation.  Bei anspruchsvolleren und umfangreichen Analysen von Form und Rauheit kommt das 2-in-1 Scan-Modul ConfoCam C1+ zum Einsatz. Mit diesem können auch spiegelnde Oberflächen nanometergenau gemessen werden, um Rauheitsparameter normgerecht und rückführbar zu ermitteln. 

Erhöhter Automatisierungsgrad

Im industriellen Einsatz werden die Bedienbarkeit der Messsysteme und eine Unabhängigkeit von Benutzereinfluss immer wichtiger. Für den Bereich Rauheitsmessung und Konturanalyse wurde aus der Anforderung der bedienerunabhängigen Messung das Messsystem TOOLinspect entwickelt, in dem ein Messplan für wiederkehrende Messaufgaben zur Verfügung steht.

Für die Halbleiter-Industrie hat Confovis das Messsystem WAFERinspect entwickelt, welches rezeptbasiert 2D- und 3D- Messaufgaben automatisch ausführt. Für die Messung von Makro- und Mikrodrall an Wellen wurde gemeinsam mit dem Institut für Maschinenelemente eine automatisierte Lösung erarbeitet, die in einem Messablauf Makrodrall nach MBN 31007-7 und Mikrodrall nach der Methode der IMA auswertet, welche im Messsystem LEADinspect vereint sind. Erklärtes Ziel ist, es eine Alternative zur Faden-Prüfmethode anbieten zu können.