Messsysteme zur 3D-Oberflächeninspektion

Ausgehend von der Anwendung entwickelt Confovis Messsysteme, die genau auf die Anforderungen der entsprechenden Branchen zugeschnitten sind. Die Messgeräte sind sehr flexibel und lassen sich dank des modularen Aufbaus bezüglich Größe, Ausstattung und Technologie an den Kundenbedarf anpassen. Mit der zugehörigen Messsoftware ConfoVIZ®  und entsprechenden etablierten Auswertesoftware wie MountainsMap© oder GOM© können Oberflächen, Mikrostrukturen etc. umfangreich gemessen und ausgewertet werden. Dabei stehen  die Messsysteme je nach Ausführung als manuelles, halbautomatisiertes oder sogar vollautomatisiertens Messsystem zur Auswahl. Messabläufe können einfach und zuverlässig per Messplan bzw. –rezept durchgeführt werden.

Anwedungsmöglichkeiten optische 3D-Messtechnik:

Das Messsystem WAFERinspect eignet sich für Wafer-Vermessung und optische Qualitätskontrolle von Halbleitern.

TOOLinspect dient der Vermessung von Werkzeugen, Mikro-Komponenten sowie Rauheit auf Funktions-oberflächen.

Mit dem Messsystem LEADinspect wird eine normgerechte Analyse von Makrodrall und Mikrodrall ermöglicht.

ROLLERinspect dient der automatischen Defekt-detektion und Vermessung von Defekten - wie Hieb-marken auf Wälzlager-körpern.

Das Messsystem DUO VARIO Base ist universell einsetzbar und ermöglicht die Messung von Rauheit ab dem einstelligen Nanometerbereich und von Konturen. Wahlweise ist das Messsystem auch mit Fokusvariation lieferbar.

Vorteile der optischen Messung mit Confovis Messsystemen

  • Keine Verwendung von Rauschfiltern, komplette Transparenz der Rohdaten
  • Messung auf spiegelnden, transparenten und diffusen Oberflächen
  • Rauheitsmessung ist rückführbar auf beliebige Raunormale
  • Einfache Bedienung: 3 Klicks zur Messung, 1 Klick zur Auswertung
  • Kurze Messzeit: vergleichbar zu einem Taster
  • Automatisierung und QS-Datenbankschnittstellen

Über den gesamten Prozess hinweg

Confovis verbindet bewährte Nikon und Olympus Mikroskop-Technik mit innovativer Scan-Technologie. Auf diese Weise entsteht aus einem abbildenden Mikroskop ein messendes System zur 3D-Oberflächeninspektion. Für viele Anwendungen kann das konfokale Mikroskop des Confovis Systems sowohl REM als auch andere Messgeräte, wie zum Beispiel das Profilometer, sinnvoll ersetzen.

Ob direkt in der Produktion, im Feinmessraum, im Testlabor oder im Bereich Forschung & Entwicklung: die Confovis Messsysteme lassen sich leicht integrieren, einfach bedienen und messen selbst in rauen Umgebungsbedingungen hochgenau bis in den einstelligen Nanometer-Bereich. Zudem sparen sie wertvolle Zeit dank ihrer hohen Messgeschwindigkeit.

Umfangreiche 3D-Daten

Ob mit dem ConfoCam©C1+ oder dem Duo Vario Base: die Messungen erfolgen mittels zeitsparendem Flächenscan statt mit aufwendiger Punkt-für-Punkt bzw. Linie-für-Linie-Abtastungen. Dabei liefern die Messsysteme hochpräzise Messungen bis in den einstelligen Nanometer-Bereich. Innerhalb kürzester Zeit werden mit Hilfe der Software ConfoVIZ© Messdaten generiert, in 3D dargestellt und anschließend mit der Analyse-Software MountainsMap® umfangreich analysiert. Im Rahmen der Qualitätssicherung ergeben sich dadurch eine deutliche Zeitersparnis, eine hohe Datenqualität und umfangreiche Messdaten, die zur Auswertung zur Verfügung stehen.

Besonders vorteilhaft: mit der von Confovis patentierten Mess-Technologie können im Gegensatz zu klassischen Konfokal-Messverfahren auch reflektierende Oberflächen und transparente Schichten ohne störende Artefakte, wie sie z.B. bei Laser Scanning Mikroskopen entstehen, gemessen werden.