Oberflächeninspektion bis in den Nanometerbereich

RAUHEITSMESSUNGEN

... konform zur Norm

Die patentierte konfokale Messtechnik von Confovis arbeitet mit LED-Licht und flächiger Erfassung der Oberflächentopografie und eignet sich besonders für präzise Messungen von Rauheiten. Im Gegensatz zu Laser Scanning Mikroskopen gibt es keine Speckle- und Kohärenzeffekte, so dass Rauheiten ungefiltert (gemäß VDA 2006) nach den Normen DIN EN ISO 4287/88, DIN EN ISO 13565 und DIN EN ISO 25178 ausgewertet werden können.

 

 

Fokusvariation

KONFOKAL-MESSTECHNIK

... und Fokusvariation

Nutzen Sie für unterschiedlichste Messaufgaben — wie z.B. Form- und Rauheitsmessungen im Werkzeug- und Maschinenbau — die Vorteile beider Verfahren in einem Messsystem. Messen Sie hohe Flankenwinkel von über 80° mit Fokusvariation sowie fein-bearbeitete Oberflächen mittels hoch-präziser konfokaler Messtechnik.

 

 

3D Wafer-Mikrostrukturmessung; Automatisierte Wafer-Inspektion

WAFER MIKROSTRUKTUREN

... automatisiert messen

Mit dem WAFERinspect können sowohl 2D-Strukturen, wie CD,
Overlay, Via’s, Durchkontaktierungen und auch 3D-Strukturen,
wie Schichtdicken, Winkel und Oberflächentopografien
automatisch gemessen und ausgewertet werden.
Die Confovis Inspektionssysteme können in voll-
automatische Wafer-Handling-Systeme
integriert werden. Die Kommunikation
mit dem Host läuft über SECS/GEM.

Optische 3D-Oberflächenmesstechnik für Industrie und Forschung

Schnell, präzise und rückführbar auf Normen: Confovis bietet mit seinen Messgeräten zuverlässige 3D Messtechnik zur Oberflächenanalyse für verschiedenste Branchen und Messaufgaben.

3D Messtechnik von Confovis ermöglicht die Rauheitsanalyse von Oberflächen

Konfokalmesstechnik nach dem von Confovis patentierten Arbeitsprinzip der „Structured Illumination Mircroscopy“ (SIM) ermöglicht eine flächige Analyse von Oberflächen mit einer Genauigkeit bis in den einstelligen Nanometerbereich. Die Auswertung der Rauheit erfolgt anschließend nach etablierten Normen über die MountainsMap-Software. Zusätzlich kann optische 3D Oberflächenmesstechnik von Confovis durch das bewährte Verfahren der Fokusvariation eine flächige Messung von Mikrogeometrien (wie z.B. an Werkzeugen) vornehmen. Hier werden Schneidkanten über Parameter wie Sγ und Sα mit der Software des IFW Hannover ausgewertet.

Einzigartig am optischen Messverfahren von Confovis ist die Fusion aus konfokaler- und Fokusvariationsmessung in einem gemeinsamen Koordinatensystem, um die Vorteile beider Messverfahren in einer 3D-Punktewolke nutzbar zu machen. Die optischen 3D-Oberflächenmessgeräte von Confovis lassen sich durch den modularen Aufbau genau an Ihren Bedarf und die entsprechenden Anforderungen Ihrer Branche anpassen/individualisieren.

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19.03.2019

Integrierte optische Messverfahren für eine produktionsnahe 3D Oberflächenvermessung

Vom 07. bis 10. Mai zeigt die Confovis GmbH ihre optischen 3D Oberflächenmesssysteme auf der Control in Stuttgart – der internationalen Messe für Qualitätssicherung. Die, auf Kunden- und Branchenanforderungen...


30.10.2018

Das Schweizer Taschenmesser für die Wafer-Analyse

Der Messtechnik-Spezialist Confovis GmbH aus Jena präsentiert auf der Semicon 2018 in München ein vollautomatisches Messsystem der Multi-Prozess-Analyse für unterschiedlichste Wafertypen (MEMS, Standard, Thin, Taiko, Warped,...


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Laser World of Photonics China
20.-22.03.19
Shanghai, China;
Aussteller
Stand W1.1736

Control
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Stuttgart
Aussteller

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