Oberflächeninspektion bis in den Nanometerbereich

RAUHEITSMESSUNGEN

... konform zur Norm

Die patentierte konfokale Messtechnik von Confovis arbeitet mit LED-Licht und flächiger Erfassung der Oberflächentopografie und eignet sich besonders für präzise Messungen von Rauheiten. Im Gegensatz zu Laser Scanning Mikroskopen gibt es keine Speckle- und Kohärenzeffekte, so dass Rauheiten ungefiltert (gemäß VDA 2006) nach den Normen DIN EN ISO 4287/88, DIN EN ISO 13565 und DIN EN ISO 25178 ausgewertet werden können.

 

 

Fokusvariation

KONFOKAL-MESSTECHNIK

... und Fokusvariation

Nutzen Sie für unterschiedlichste Messaufgaben — wie z.B. Form- und Rauheitsmessungen im Werkzeug- und Maschinenbau — die Vorteile beider Verfahren in einem Messsystem. Messen Sie hohe Flankenwinkel von über 80° mit Fokusvariation sowie fein-bearbeitete Oberflächen mittels hoch-präziser konfokaler Messtechnik.

 

 

3D Wafer-Mikrostrukturmessung; Automatisierte Wafer-Inspektion

WAFER MIKROSTRUKTUREN

... automatisiert messen

Mit dem WAFERinspect können sowohl 2D-Strukturen, wie CD,
Overlay, Via’s, Durchkontaktierungen und auch 3D-Strukturen,
wie Schichtdicken, Winkel und Oberflächentopografien
automatisch gemessen und ausgewertet werden.
Die Confovis Inspektionssysteme können in voll-
automatische Wafer-Handling-Systeme
integriert werden. Die Kommunikation
mit dem Host läuft über SECS/GEM.

Optische 3D-Messtechnik zur Analyse von Oberflächen

Schnell, präzise und rückführbar auf Normen: Confovis bietet optische 3D-Messtechnik für eine zuverlässige Oberflächenanalyse für unterschiedliche Applikationen und Branchen. Die konfokale Messung nach dem von Confovis patentierten Arbeitsprinzip der „Structured Illumination Mircroscopy“ (SIM) ermöglicht eine flächige Erfassung von Oberflächen mit einer Genauigkeit bis in den einstelligen Nanometerbereich. Die Auswertung der Rauheit erfolgt anschließend nach etablierten Normen über die MountainsMap-Software.

3D Messtechnik von Confovis ermöglicht die Rauheitsanalyse von Oberflächen

Das bewährte Verfahren der Fokusvariation ermöglicht bei den optischen 3D-Messsystemen eine flächige Messung von Mikrogeometrien (z.B. an Werkzeugen). Hier werden Schneidkanten über Parameter wie und mit der Software des IFW Hannover ausgewertet. Einzigartig am optischen Messverfahren von Confovis ist die Fusion aus konfokaler- und Fokusvariationsmessung in einem gemeinsamen Koordinatensystem, um die Vorteile beider Messverfahren in einer 3D-Punktewolke nutzbar zu machen.

30.10.2018

Das Schweizer Taschenmesser für die Wafer-Analyse

Der Messtechnik-Spezialist Confovis GmbH aus Jena präsentiert auf der Semicon 2018 in München ein vollautomatisches Messsystem der Multi-Prozess-Analyse für unterschiedlichste Wafertypen (MEMS, Standard, Thin, Taiko, Warped,...


06.09.2018

Verschleißmessung an Zerspanungswerkzeugen

Der Messtechnik-Spezialist Confovis GmbH aus Jena präsentiert seine Messstrategie für die Erfassung von Verschleiß an Zerspanungswerkzeugen, die konfokal gemessene Daten mit der Fokusvariation fusioniert. Das Ergebnis ist...


18.04.2017

Messtechnik für schnelle Prozessüberwachung in der Diodenherstellung

Optische Messtechnik unterstützt Qualitätskontrolle des Laser-Dioden-Herstellers Lumics GmbH...


03.04.2017

Messsystem Tool Inspect auf Hannover Messe 2017

Confovis präsentiert sein optisches Messsystem Tool Inspect zur schnellen und automatisierten Vermessung von Werkzeugen und Mikro-Komponenten. Es bietet zwei Messverfahren in einem Messgerät, eine motorisierte...


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37. Hagener Symposium Pulvermetallurgie

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